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激光干涉仪原理——应用何处Ⅰ：位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。
数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT)，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，江苏斐索型激光干涉仪能耗制动，导轨的动态特性(低速爬行)分析等。
几何精度检测可用于检测直线度、垂直度，江苏斐索型激光干涉仪能耗制动、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。总结：激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种，江苏斐索型激光干涉仪能耗制动，其中单频激光干涉仪是通过发射激光束，有固定的波长，折返的激光束将光信号转化为脉冲信号，计算折返的脉冲总数，通过计算得知位移距离，等长度的测量。 激光干涉仪重复性：λ/100 RMS。江苏斐索型激光干涉仪能耗制动
双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。
激光干涉仪应用 （1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 江苏斐索型激光干涉仪能耗制动应用领域：大平板显示（平面检测）。
根据激光干涉仪的原理，我们可以清楚知道，激光干涉仪是用来检测设备的运动精度的，SJ6000激光干涉仪目前在机床、直线电机、滑台、模组、自动化设备、机器人等领域广泛应用。
白光干涉仪以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光**终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
自十九世纪以来，干涉测量技术一直是精密测量领域中的重要技术之一，在精密工业生产加工以及基础科学测量有着广泛应用。近几十年来，随着空间科学应用的发展需求，例如空间引力波探测，高精度星间激光测干涉测量技术得到***重视。高精度星间激光测距是利用两颗卫星之间的两束或者多束激光进行干涉，通过读取干涉信号的相位信息得到星间距离变化信息。基于高精度星载激光稳频、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光指向控制等技术，可实现皮米级星间位移测量，对空间科学与技术、基础物理实验等研究领域具有重要价值与应用激光干涉仪有： 无应力平面检测干涉仪， 无应力平面检测干涉仪，现场高效球面检测干涉仪。
激光干涉技术在超精密加工制造，精密定位控制和基础科学测量等领域具有重要价值。目前国际上测量精度比较高的干涉仪就是用于引力波探测的激光干涉仪。叶贤基教授围绕空间引力波探测技术，详细介绍了高精度星间激光干涉测量的基本原理、关键技术及其发展现状。星间激光干涉测量是一种长基线高精度的位移测量方法，当星间距达到十万公里之百万公里时就要求在接收光功率为皮瓦至纳瓦级弱光条件下，实现皮米级位移测量精度。为了实现高精度星间干涉测量，需要发展一系列关键技术，包括星载激光稳频技术、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光光束指向控制技术。平面类（平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等）光滑表面面形测量。江苏金属平面激光干涉仪供应商
一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量， 90°直角棱镜和角锥测量。江苏斐索型激光干涉仪能耗制动
通用组合水平式检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。它依据可模块化组合的设计理念和通过不同的组合模式，灵活地满足不同的检测需求。进而在结构简单、适用于多种被测面的前提下，使用数字化相移分析方法实现高精度、多功能的检测，从而**降低检测成本。此款干涉仪解决了被检测对象的不确定与检测系统相对固定之间的匹配问题，以及由此带来的现有仪器实用性受限问题。它不仅实现了干涉测量技术的更新换代，而且填补了制造业和国家质检部门对高精度平面检测设备需求的空白。江苏斐索型激光干涉仪能耗制动
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